Ablacja laserowa tarczy grafitowej z uzyciem lasera Nd:YAG o długosci fali 1064 nm
Loading...
DOI
Files
Date
2008
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Institute of Nuclear Physics Polish Academy of Sciences
Abstract
Diamentopodobne powłoki weglowe sa obecnie intensywnie badane jako materiały o wielorakich potencjalnych zastosowaniach w elektronice, optyce i trybologii. W raporcie
przedstawiamy pierwsze warstwy amorficznego wegla uformowane metoda PLD w IFJ
PAN. Powłoki deponowane były na podłozach krzemowych w komorze prózniowej pod
cisnieniem 5x10¡5 mbar przez ablacje laserowa tarczy grafitowej. W eksperymencie
uzyto lasera Nd:YAG o długosci fali 1064 nm i gestosci energii w zakresie 10-50 J/cm2.
Mikrostruktura uzyskanych powłok została przebadana przy uzyciu spektroskopii Ramana.