Streszczenie:
Przy użyciu technik jonowych Ion Beam Sputter Deposition (IBSD) oraz Ion Beam
Assisted Deposition (IBAD) formowano powłoki ochronne na bazie związków krzemu
z azotem, poprawiające własności trybologiczne powierzchni. Powłoki formowano na
powierzchniach próbek wykonanych ze stali 316L lub 3H13. Próbki stali, w formie
walców lub w formie prostopadłościanów, wstępnie polerowano mechanicznie oraz
azotowano. W celu ustalenia rozkładów głębokościowych koncentracji poszczególnych
pierwiastków w uformowanej powłoce, w warstwie przejściowej oraz w podłożu
zastosowano techniki jądrowe Rutherford Backscattering Spectroscopy i Nuclear
Reaction Analysis (RBS/NRA). Do określenia wiązań chemicznych w uformowanych
powłokach oraz warstwach przejściowych zastosowano konfokalną spektroskopię
mikroramanowską. Dla uformowanych układów metodą micro-scratch-test wyznaczono
ich własności mechaniczne.
