Pierwsze Diamenty CVD w IFJ PAN. Charakterystyka powłok diamentowych przy pomocy mikrospektroskopii ramanowskiej

Abstract

Wytworzone metodą mikrofalową CVD (MW CVD) powłoki diamentowe zostały scharakteryzowane przy pomocy mikrospektroskopii ramanowskiej. Określono rodzaj wiązań chemicznych i stan naprężeń w powłokach. Udział wiązań diamentowych typu sp3 okazał się bardzo wysoki. Szerokość i położenie charakterystycznej dla diamentu linii ramanowskiej w pobliżu 1332 cm-1 wskazują na krystaliczną i prawie niezdefektowaną strukturę powłoki diamentowej. Nie obserwowano linii ramanowskich pochodzących od grafitu, a przyczynek od innych struktur o wiązaniach typu sp2, jak amorficzny węgiel, czy od prekursorów diamentu, jest niewielki. Naprężenia własne występujące w powłokach, wyznaczone z przesunięcia linii ramanowskiej, mieszczą się w granicach obserwowanych przez innych autorów w powłokach diamentowych wytwarzanych na podłożach krzemowych.